名 称：北京三丰美电科技有限公司 Sunfound Electronic Technology Co., Limited
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ZYGO 3D光学轮廓仪
美国ZYGO公司 白光干涉扫描轮廓仪
所有产品表面形貌的高速，高分辨率，非接触三维测量
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）
几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征图形的位置和数量等等）
Zegage
NewView8000系列
NeXview
基于ZYGO专利的白光扫描及移相干涉测量法
包括FDA空间频率域分析，SureScan抗震白光扫描算法，SmartPSI抗震移相干涉测量算法
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）
几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征图形的位置和数量等等）
RMS 0.1nm以下超光滑样品的粗糙度测量
平面度，尤其是粗糙表面的平面度测量
光滑表面，或者大倾角的锥角测量
具有微小缺陷，纹理自动分辨，分析统计功能
测试头具有防撞功能，有效的保护样品，压电陶瓷和镜头
垂直扫描范围150um压电陶瓷驱动，20mm扩展扫描
重复性（1）＜0.1nm
RMS重复性（2）0.005nm
