PDS2060PC 全自动系列真空沉积系统

SCS Parylene沉积系统是为精确的，可重复性的高端敷型涂敷产品而设计的，具有高生产能力和操作简单的特点。可应用于高要求的三防保护、半导体、MEMS、传感器、生物医疗、磁性材料、文物保护等领域。它已被广泛用于航空、航天、军工、微电子、医疗、文保等方面的隔离保护，不会影响任何电子元件或基板的性能，是一种性能优异的高聚物材料。

Ø 模块化结构，可接各种尺寸的水平或垂直沉积腔室

Ø 全计算机控制，图形操作界面的运行状态及参数显示

Ø 全闭环压力控制保证沉积的均匀性及一致性

Ø 所有参数可储存及输出色彩打印拷贝

Ø 专利的自动涂层结合力促进剂蒸发装置

Ø 很少的人为干预降低对操作者的要求

Ø UPS后备电源保证涂敷过程的完整性

Ø 完备的安全报警及错误信息显示